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基于光刻胶热熔法的全息光栅表面粗糙度平滑处理（PDF）
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软件大小： 377.00 KB 解压密码： 软件评级： ★★★ 开 发 商： Frank 本月下载： 软件类别： 国产软件 软件授权： 免费版 软件语言： 英文 运行平台： Win9x/NT/2000/XP/2003 更新时间： 2011年12月15日 -
内容介绍
根据表面热动力学原理提出了一种成本低廉、制作周期短、易于实现的光刻胶热熔法,阐述了光刻胶热熔法的基本原理,探讨了光刻胶热熔对光刻胶光栅表面刻槽形状的影响。实验中,分别对经过和未经过热熔处理的光刻胶光栅做了离子束刻蚀。结果表明,利用表面张力作用可使熔融状态下的光刻胶光栅刻槽表面变得平滑,粗糙度降低,并且成功地在K9 玻璃基底上得到了槽形较好的全息光栅。
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